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MC方案| 白光反射光譜法(WLRS)測量薄膜和超薄膜厚度

更新時(shí)間:2019-05-31      點(diǎn)擊次數(shù):2095

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FR的工具基于白光反射光譜(Reports),準(zhǔn)確同步的厚度測量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案,如:

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