A4P四點(diǎn)探頭采用100mm，150mm，200mm或300mm系統(tǒng)，無需維護(hù)且易于使用。該系統(tǒng)有多種選擇，包括寬范圍熱測試，非標(biāo)準(zhǔn)材料的定制卡盤和幾乎適用于任何應(yīng)用的4點(diǎn)探針。

電阻率測量自動化軟件

A4P-200-PLUS自動化軟件允許使用電阻率測繪系統(tǒng)進(jìn)行半自動或全自動測試。該接口設(shè)計(jì)簡單但功能強(qiáng)大，允許用戶輕松設(shè)置幾乎任何類型晶圓結(jié)構(gòu)的自動測試程序?；?/span>LabView的軟件采用邏輯結(jié)構(gòu)，可輕松集成客戶自己的測試和測量設(shè)備。該軟件可以安裝在任何裝有Windows XP或更高版本操作系統(tǒng)的PC上。

A4P四點(diǎn)探頭功能

系統(tǒng)提供快速，準(zhǔn)確的測量并且非常用戶友好。

直觀的基于LabView的開源軟件提供各種數(shù)據(jù)處理選項(xiàng)以及結(jié)果的二維和三維映射。

可以表征的各種材料和結(jié)構(gòu)。

寬電阻率測量和薄層電阻范圍。

溫度范圍：從低于-60°C到超過300°C。

可選擇1種，5種，9種，25種，49種或121種測量模式以及自定義電阻率測量模式。

可調(diào)式真空吸盤適用于5mm至300mm的樣品尺寸。

ASTM，SEMI或簡單輸出的快速測量模式。

點(diǎn)擊或點(diǎn)擊或直接坐標(biāo)輸入晶圓導(dǎo)航。

與Jandel探頭兼容。

該系統(tǒng)的真空或受控環(huán)境版本可用于擴(kuò)展溫度測試的電阻率測試。

自動化軟件功能

在大多數(shù)情況下，所有自動化，測量和數(shù)據(jù)采集都可以通過在簡單的筆記本電腦上運(yùn)行的軟件包進(jìn)行管理。

不需要昂貴的硬件。

軟件允許用戶生成測量圖案圖。

軟件允許用戶生成結(jié)果的2D和3D地圖。

軟件輸出電阻和電阻率或厚度測量值。

軟件輸出電阻和電阻率或厚度測量值。

軟件內(nèi)置了熱卡盤的*控制，允許復(fù)雜且高度可定制的測試序列。

該軟件是開源的，客戶可以對其進(jìn)行定制以滿足任何特定需求。

MicroXact團(tuán)隊(duì)與客戶一起努力，盡快開發(fā)出的自動化解決方案。

A4P 4點(diǎn)探頭規(guī)格

A4P-200-TC

以下規(guī)格適用于標(biāo)準(zhǔn)配置。在大多數(shù)情況下，每個A4P 4點(diǎn)探針系統(tǒng)都可以定制，以超過這些值。

晶圓尺寸                 高達(dá)300mm

真空吸盤                  多區(qū)真空

兼容的探頭                Jandel探頭

饋通終端                  BNC，Triax或香蕉插頭

自動化軟件                基于LabView，與Windows兼容