18971121198
當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 等離子清洗機(jī) > STAR系列等離子清洗機(jī)
PlasmaSTAR®模塊化腔室和電極組件是該系統(tǒng)的*功能。 腔室材料是硬質(zhì)陽極氧化鋁， 有幾種不同的電極設(shè)計(jì)，包括用于反應(yīng)離子刻蝕（RIE）和平面處理的水冷平板電極，用于表面清洗或處理的交替多層托盤電極，用于小化離子損傷的下游電極，和用于普通的圓柱形籠式電極。
反應(yīng)離子刻蝕機(jī)PlasmaStar 100儀器介紹 PlasmaSTAR®系列等離子處理系統(tǒng)適合處理所有的材料，擁有多種腔室和電極配置，可滿足不同的等離子工藝和基片尺寸。占地面積小，用于各種等離子工藝的模塊化腔室和電極配置。此外，觸摸屏計(jì)算機(jī)控制，多級(jí)程序控制和組件控制，操作簡單。PlasmaSTAR®模塊化腔室和電極組件是該系統(tǒng)的*功能。
PlasmaSTAR®系列等離子處理系統(tǒng)適合處理所有的材料。 PlasmaSTAR®系統(tǒng)擁有多種腔室和電極配置，可滿足不同的等離子工藝和基片尺寸。
聯(lián)系人：鄧經(jīng)理
地址：洪山區(qū)珞獅南路147號(hào)未來城A棟
郵箱：sales@mycroinc.com
傳真：歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號(hào)了解更多信息
掃一掃
歡迎來到