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技術(shù)文章 / ARTICLE
描述:光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列更小的測(cè)量盲區(qū)更高精度的尺寸及位移復(fù)現(xiàn)能力高靈敏度光學(xué)非接觸測(cè)量多膜層/多層玻璃測(cè)厚能力同軸式測(cè)量配置,避免了激光三角傳感器的角度限制,縮小測(cè)量盲區(qū),適合復(fù)雜細(xì)微結(jié)構(gòu)(如深溝槽結(jié)構(gòu)等)的測(cè)量。
光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列
更小的測(cè)量盲區(qū)
更高精度的尺寸及位移復(fù)現(xiàn)能力
高靈敏度光學(xué)非接觸測(cè)量
多膜層/多層玻璃測(cè)厚能力
同軸式測(cè)量配置,避免了激光三角傳感器的角度限制,縮小測(cè)量盲區(qū),
適合復(fù)雜細(xì)微結(jié)構(gòu)(如深溝槽結(jié)構(gòu)等)的測(cè)量。
針對(duì)光譜共焦位移傳感器研制開(kāi)發(fā)的HC-CC物鏡采用近十片鏡片,能夠?qū)崿F(xiàn)最小10微米的成像光斑,同時(shí)提高測(cè)量線性精度。
針對(duì)光譜共焦位移傳感器定制開(kāi)發(fā)的雜散光抑制優(yōu)化光譜儀以及高亮度彩色激光光源,都能夠大幅提高傳感器的測(cè)量靈敏度,能夠?qū)Ρ砻娣祷氐臉O弱的光強(qiáng)(如薄膜等透明物體)完成測(cè)量。
光譜共焦傳感器適合各種材料的測(cè)量,并能確保對(duì)不同材料的測(cè)量性能,同時(shí)支持多膜層/膠合玻璃的多層厚度測(cè)量。
抗干擾模塊化探頭
光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列安裝于測(cè)量現(xiàn)場(chǎng)的探頭是純光學(xué)器件,通過(guò)光纖與控制器連接
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