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描述:光譜干涉測量傳感器基于薄膜干涉原理,薄膜可以是透明固體、液體或由兩塊玻璃所夾的氣體薄層。入射光經(jīng)薄膜上表面反射后得第一束光,折射光經(jīng)薄膜下表面反射,又經(jīng)上表面折射后得第二束光,這兩束光在薄膜的同側(cè),由同一入射光振動(dòng)分出,是相干光,屬分振幅干涉。當(dāng)由一組波長組成的白光入射到薄膜上時(shí),某些波長的光被增強(qiáng),而某些波長的光則被減弱。通過對混合的兩個(gè)波前產(chǎn)生的光干涉條紋進(jìn)行光譜分光,測算干涉信號(hào)的頻率光譜,
光譜干涉_白光干涉_膜厚測量_納米膜厚測量 光譜干涉?zhèn)鞲衅?/strong>HCI-500系列
光譜干涉測量傳感器基于薄膜干涉原理,薄膜可以是透明固體、液體或由兩塊玻璃所夾的氣體薄層。入射光經(jīng)薄膜上表面反射后得第一束光,折射光經(jīng)薄膜下表面反射,又經(jīng)上表面折射后得第二束光,這兩束光在薄膜的同側(cè),由同一入射光振動(dòng)分出,是相干光,屬分振幅干涉。當(dāng)由一組波長組成的白光入射到薄膜上時(shí),某些波長的光被增強(qiáng),而某些波長的光則被減弱。通過對混合的兩個(gè)波前產(chǎn)生的光干涉條紋進(jìn)行光譜分光,測算干涉信號(hào)的頻率光譜,計(jì)算解析出被測樣品的厚度(或?qū)娱g隙)。
納米膜厚測量 光譜干涉?zhèn)鞲衅?/strong>
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